Специалисты АО «Ангстрем» разработали полностью отечественный кантилевер. Эта небольшая деталь является основным измерительным элементом атомно-силовых микроскопов и быстро изнашивается. Новая разработка не только обеспечит научные организации кантилеверами, но и позволит отработать технологии создания и производства элементов микроэлектронных механических систем (МЭМС).
Кантилевер является основой любого сканирующего зондового микроскопа. От его качеств зависит успешная работа микроскопа в целом.
Ангстремовский кантилевер представляет собой прямоугольное основание с выступающей из него балкой, шириной 30 микрометров (мкм) и длиной от 95 до 125 мкм. На свободном конце балки располагается зонд - маленькая кремневая игла, изготавливающаяся методом анизотропного травления. Высота иглы составляет 10-15 мкм.
Основными потребителями новой продукции являются разработчики нано-технологий и специалисты научных лабораторий, так как при постоянной работе с атомно-силовыми микроскопами необходимо менять зонд 2-3 раза в месяц.
 |
| Кремниевая игла кантилевера производства «Ангстрем». |
Кантилеверы могут работать как в контактном, так и бесконтактном режиме сканирования.
Основным преимуществом «Ангстрема» является широкий ассортимент кантилеверов и их конкурентная цена. Примерная стоимость изделия составит 10-15 долларов за штуку, против 18-20 долларов у зарубежных конкурентов. В России порядка 100 атомно-силовых микроскопов, и всего несколько компаний, которые нерегулярно производят кантилеверы для них. После отработки производства будет определен объем выпуска кантилеверов, но мощности компании «Ангстрем» смогут обеспечить все научные лаборатории страны. Тестовые образцы будут готовы к концу этого года.
Кроме обеспечения потребностей отечественных ученых, выпуск кантилеверов дает возможность отработать технологии производства МЭМС-устройств (акселерометры, датчики движения, гироскопы, барометрические датчики). «Ангстрем» уже завершил научно-исследовательскую работу (НИР) по созданию акселерометра. Через короткий промежуток времени «Ангстрем» сможет обеспечить национальных производителей отечественными МЭМС-приборами.
