Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство

Автор: Валерий Киреев
Год: 2016
Издательство: Интеллект
ISBN: 978-5-91559-215-4

В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.

Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.

Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.

Валерий Киреев - Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство

Для комментирования материалов с сайта и получения полного доступа к нашему форуму Вам необходимо зарегистрироваться.
Имя

Публикации по теме:

Справочное руководство по работе с программой SPECCTRA V15.0 (SPECCTRA EXPERT SYSTEMS)Справочное руководство по работе с программой SPECCTRA V15.0 (SPECCTRA EXPERT SYSTEMS)
Ёлшин Ю. М.
Электромагнитное экранированиеЭлектромагнитное экранирование
Д. Н. Шапиро
Антенны. Справочное изданиеАнтенны. Справочное издание
Карл Ротхаммель
Уязвимости микропроцессорных реле защиты. Проблемы и решения. Учебно-практическое пособиеУязвимости микропроцессорных реле защиты. Проблемы и решения. Учебно-практическое пособие
Владимир Гуревич
Технологические процессы в микро- и наноэлектроникеТехнологические процессы в микро- и наноэлектронике
Родионов Ю. А.