Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

АвторВ. Киреев, А. Столяров
Год2006
ISBN5-94836-039-3

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.

Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Вебинар «Новинки и решения Traco для промышленных и отраслевых приложений» (28.10.2021)

 Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Изготовление 1-4 слойных печатных плат за $2

Синхронизатор тактового сигнала с двумя цифровыми контурами ФАПЧ AD9546 от Analog Devices
Для комментирования материалов с сайта и получения полного доступа к нашему форуму Вам необходимо зарегистрироваться.
Имя

Публикации по теме:

Современные технологии беспроводной связиСовременные технологии беспроводной связи
И. Шахнович
Миниатюрные коаксиальные радиокомпоненты для микроэлектроники СВЧ. 2-е изданиеМиниатюрные коаксиальные радиокомпоненты для микроэлектроники СВЧ. 2-е издание
Джуринский К. Б.
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологииИонно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман
Кремний - материал наноэлектроникиКремний - материал наноэлектроники
Н. Герасименко, Ю. Пархоменко
Базовые лекции по электронике. В 2 томах. Toм 1. Электровакуумная, плазменная и квантовая электроникаБазовые лекции по электронике. В 2 томах. Toм 1. Электровакуумная, плазменная и квантовая электроника