Кремний - материал наноэлектроники
| Серия | Мир материалов и технологий |
| Автор | Н. Герасименко, Ю. Пархоменко |
| Год | 2007 |
| ISBN | 5-94836-101-2, 978-5-94836-101-7 |
Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
