Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

Автор: Родионов Ю. А.
Год: 2019
Издательство: Инфра-Инженерия
ISBN: 978-5-9729-0337-5

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.

Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

Для комментирования материалов с сайта и получения полного доступа к нашему форуму Вам необходимо зарегистрироваться.
Имя

Публикации по теме:

Компактные модели МОП-транзисторов для SPICE в микро- и наноэлектроникеКомпактные модели МОП-транзисторов для SPICE в микро- и наноэлектронике
В. В. Денисенко
Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 2Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 2
В. М. Рощин, М. В. Силибин
Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроникиНанотехнологии для микро- и оптоэлектроники
Дж. М. Мартинес-Дуарт, Р. Дж. Мартин-Палма, Ф. Агулло-Руеда
Справочник инженера по АСУТП. Проектирование и разработкаСправочник инженера по АСУТП. Проектирование и разработка
Ю. Федоров
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологииИонно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман