Необходимо измерить импеданс образца (например элемента с нелинейной ВАХ) в интервале частот от 0 до 100 Мгц и при различных амплитудах переменного сигнала (0-5В). Генератор имеется. Что еще нужно. Какими приборами воспользоваться естли стандартная методика.

Включите последовательно с измеряемым элементом АКТИВНОЕ сопративление
( безиндукционный резистор). Измеряя падение напряжения на нём и изм. элементе Вы получите отношение их импендансов. Следует заметить, что этот способ применим только к элементам с СИММЕТРИЧНОЙ вольт/амперной характелистикой.
Для элементов с не симметричной характеристикой следует проводить измерение на одной ветви.

В томто и дело что у меня нелинейный элемент, например диод Ганна или туннельный диод.

Проводите измерение на одной ветви. Для чего создайте регулирумое смещение и наложите на него переменную составляющую. Переменная составляющая 2-5% от напряжения смещения. Изменяя напряжение смещения Вы сможете измерить импенданс в любой точке характеристики элемента.

Методика гдето описана? Или схема какая нибудь. Что и как измерять, как вычислять импеданс и т.д.

Ищите "характериограф" Это поможет Вам составить представление о вариантах решения задачи. Дополнив существующие схемы модулятором Вы сможете измерять i*X в различных точках В/А характеристики прибора. Расчёт производится точно так же, как резисторного делитель по закону Ома.