Цитата:

Научно‑исследовательские институты НИИМЭ и НИИТМ (оба входят в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT) завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ). Установки позволят выпускать интегральные микросхемы по топологическим нормам 65 нм на пластинах 200*мм и*300*мм.

Подробнее: НИИМЭ и НИИТМ первыми в России разработали оборудование для техпроцесса 65-нм на пластинах до*300*мм

Неужели сможет заработать Крокус Наноэлектроника, где уже 14 лет стоит оборудование под 300 мм пластины?