Линейка продуктов KEEN SIDE
РадиоЛоцман - Все об электронике

Учёный ТГУ создаёт новый способ контроля качества полупроводников

Разработка приборов и технологий отечественной микроэлектроники входит в число приоритетных задач, стоящих перед российскими учёными. Сотрудник лаборатории детекторов синхротронного излучения Томского госуниверситета Александр Винник работает над созданием метода неразрушающего контроля пластин, которые используются в качестве основы для полупроводников. Новый подход с использованием ИК-излучения позволит существенно сократить финансовые затраты и время на исследование дефектов в структуре пластин. Проект разрабатывается при поддержке программы УМНИК Фонда содействия инновациям.

АЦП азиатских производителей. Часть 1. Преобразователи последовательного приближения

«В настоящее время для контроля качества подложки, на которую устанавливаются сенсоры, используется разрушающий метод – DSL-травление пластины, – поясняет научный сотрудник лаборатории детекторов синхротронного излучения ТГУ Александр Винник. – При этом применяются агрессивные химические реактивы, которые разрушают подложку. Вместе с тем метод травления является недостаточно надёжным инструментом для выявления дефектов структуры. Скорее, его можно назвать подтверждающим. То, что в одной пластине при травлении выявлены изъяны в определенной локации, не означает, что в другой пластине они будут расположены точно так же».

Изготовление сенсоров в лаборатории детекторов синхротронного излучения ТГУ
Изготовление сенсоров в лаборатории детекторов синхротронного излучения ТГУ.

Чтобы обеспечить нужное качество исследования, Александр Винник разрабатывает новый способ контроля качества, используя для этого ИК-излучение. Результатом проекта станет прототип стенда и программно-аппаратного комплекса для автоматизированного контроля дефектности полупроводниковых пластин.

«Принцип работы здесь основан на измерении пространственного распределения интенсивности инфракрасного излучения ближнего диапазона, проходящего через исследуемый объект, – объясняет молодой учёный. – Это позволит бесконтактно выявлять объемные и поверхностные дефекты в полупроводниковых пластинах и структурах проводников. При анализе изображения нейронные сети помогут определять местоположение, размер и тип дефекта по всей площади исследуемого объекта. С помощью данного метода можно будет тестировать и готовую продукцию».

Потенциальными потребителями продукта являются производители монокристаллов и полупроводниковых пластин АО «Гиредмет» и ООО «Лассард», производитель интегральных схем АО «Микрон» и ряд других компаний, нацеленных на развитие отечественной микроэлектроники.

Для справки: Лаборатория детекторов синхротронного излучения ТГУ создана при поддержке гранта правительства РФ. На базе лаборатории реализуется масштабный проект «Разработка фундаментальных основ физики и технологии радиационностойких полупроводниковых структур и создание на их основе многоэлементных детекторов для обеспечения исследований и исследовательской инфраструктуры синхротронного центра 4+ поколения «СКИФ» и других «мегасайенс» проектов в РФ. Наличие ультрасовременного синхротрона позволит российским учёным проводить исследования нобелевского уровня. 

tsu.ru

ТМ Электроникс. Электронные компоненты и приборы. Скидки, кэшбэк и бесплатная доставка
Для комментирования материалов с сайта и получения полного доступа к нашему форуму Вам необходимо зарегистрироваться.
Имя