Всероссийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений (ВНИИФТРИ) Росстандарта разработал отечественный измерительный зонд и калибровочную пластину (плату) для высокоточных измерений параметров микроэлектронных устройств на подложке. Новый прибор позволяет выполнять точные измерения как на макро-, так и на микроскопическом уровне, особенно востребованные при работе с радиочастотными и высокочастотными устройствами, а также при контроле качества сборки и исследованиях материалов микроэлектроники.
«Расширение отечественного производства радиотехнических систем и аппаратных комплексов невозможно без опережающего развития измерительных технологий. Уже в 2026 году новые зонды разработки ВНИИФТРИ станут доступны для заказа, открывая дополнительные возможности для замещения импортных аналогов и укрепляя технологическую независимость страны в сфере электронной промышленности», — отмечает генеральный директор ФГУП «ВНИИФТРИ» Сергей Донченко.
Измерительный зонд ВНИИФТРИ предназначен для использования в установках, проводящих измерения S-параметров — коэффициентов отражения и передачи мощности — в микросхемах и интегральных схемах. Калибровочная пластина применяется для калибровки векторных анализаторов цепей и играет ключевую роль в операциях контроля на всех этапах производства современной электроники.
«Создание собственных измерительных средств и калибровочных пластин имеет стратегическую значимость для отечественной микро- и наноэлектроники. Эти решения позволяют предприятиям минимизировать зависимость от зарубежных компонентов, обеспечивать метрологическую прослеживаемость измерений и удовлетворять требованиям современных стандартов. Это особенно важно в условиях стремительного развития микроэлектронной промышленности, роста объёмов производства и повышения требований к качеству конечной продукции», — говорит заместитель начальника отдела измерений в радиочастотных трактах ФГУП «ВНИИФТРИ», один из разработчиков нового прибора, Александр Бондаренко.
Серийное производство нового прибора планируется начать в 2026 году. Кроме того, по итогам XIV Научно-технической конференции «Метрология в радиоэлектронике» в адрес Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт) было внесено предложение о создании рабочей группы при комиссии по радиотехническим измерениям, которая займётся стандартизацией требований к зондовым измерениям микроэлектронных структур на пластине.
