Инженеры холдинга «Росэлектроника» Госкорпорации Ростех разработали интерферометр на базе отечественных комплектующих, в том числе собственного производства. Лазерный интерферометрический измеритель наноперемещений, предназначенный для точного измерения длин, получил обозначение «ЛИС-01М».
Прибор разработан совместно со специалистами московского ООО «Наномера», которые спроектировали оптикомеханическую часть интерферометра и программное обеспечение по обработке измерительных сигналов от фотоприемника. Со стороны холдинга в проекте участвовало АО «Центральный научно-исследовательский технологический институт «Техномаш». Сотрудники института разработали радиоэлектронный модуль, включающий в себя синтезатор частот для управления акустооптическими преобразователями, усилители мощности, электронный блок фотодетектора и малошумящие источники питания интерферометра.
Основной задачей проекта являлась разработка инженерных решений, позволяющих заместить в подобных приборах импортные электронные компоненты на российские аналоги без ухудшения основных характеристик. В результате, при проектировании, например, синтезаторов частот удалось спроектировать электронные схемы с замещением кварцевых генераторов фирмы Golledge (Великобритания) изделиями российских производителей.
В разработанном интерферометре, в частности, применяются термостабилизированные и термостатированные кварцевые генераторы ОАО «Завод Метеор» (Волжский, Волгоградская обл., входит в холдинг «Росэлектроника») и ОАО «Морион» (Санкт-Петербург).
При этом использование российских компонентов позволило снизить уровень фазовых шумов при отстройке 100 кГц в полосе 1 Гц по сравнению с показателями, демонстрируемыми британскими генераторами.
Технические характеристики ЛИС-01М:
- Диапазон измерений линейных перемещений: 10–9 … 10–2 метра, с дискретностью отсчета 0.1 нм и абсолютнай погрешностью 0.5…3 нм, в зависимости от диапазона.
- Диапазон измерений амплитуды ультразвукового смещения: 10–10 … 10–7 метра, при относительной погрешности не более 5% в диапазоне рабочих частот 104 … 106 Гц.
- Максимальное значение измеряемой скорости перемещения объекта: 3 мм/с при относительной погрешности не более 1%.
- Диапазон измерений коэффициента электроакустического преобразования: 106 … 109 В/м в диапазоне рабочих частот 50 … 1000 кГц с относительной погрешностью не более 25%. Время измерения – 10 мкс.
