Цитата:

Журнал РАДИОЛОЦМАН, сентябрь 2013 Todd Borkowski EDN В статье описывается эволюция технологии МЭМС в области устройств синхронизации. До недавнего времени в ней доминировали кварцевые генераторы.

Подробнее: Время перемен: кварцевые генераторы уступают дорогу МЭМС

Очень своевременный материал. В прошлом году меня впечатлила серия видео компании Silicon Labs под названием "MEMS Oscillator Cold Spray Stress Test"

MEMS Oscillator Cold Spray Stress Test

.
На отечественном рынке давно доступны генераторы компании SiTime, например SiT800х. Вот только есть у этих приборов весьма существенный недостаток - значительно потребление тока.

Помимо затронутых в материале принципиальных вопросов функционирования MEMS генераторов, автор, насколько я понимаю, сосредоточил своё внимание на «производных» параметрах микромеханических систем - параметрах стабильности реальных приборов. Хоть именно это и интересует потребителей, всё же жалко, что не прозвучало привычное слово добротность - интересно было бы проанализировать подходы к моделированию электромеханических колебательных систем. Меня, к примеру, заинтриговало, почему «для электростатической архитектуры характерна слабая связь между механическим и электрическим режимами, что приводит к неэффективному преобразованию энергии». Ответ «чтобы компенсировать… электростатическое устройство должно иметь больший размер или повышенное энергопотребление» мне кажется порождающим ещё больше вопросов.

А также не приведён анализ стоимости производства пьезоэлектрических МЭМС и кварцевых генераторов. Ведь технология выращивания монокристаллов синтетического кварца последние лет 50 не стояла на месте. Так что «битва» может затянуться :-)

Связь статики и размера очевидна ... МЭМС не исключение...По поводу "битвы" согласен, ни что не мешает технологически расположить "кристалл- над кристаллом"

Очень нужно для разработки кольца фапч с использованием генератора Sitime. Sit3373 на 600мгц программа для симуляции требует значение ёмкости по входу управления. Прошу у кого есть в наличие такой генератор, измерить значение ёмкости по входу управления частотой.