AC-DC и DC-DC преобразователи напряжения Top Power на складе ЭЛТЕХ
РадиоЛоцман - Все об электронике

Lace Lithography использует атомы, чтобы выйти за рамки EUV

Компания Lace Lithography AS (Берген, Норвегия) разрабатывает форму литографии, в которой атомы, бомбардирующие поверхность, позволяют создавать элементы с разрешением, превосходящим возможности экстремальной ультрафиолетовой литографии.

Современные альтернативы AC/DC-преобразователю хIPER12A от ведущих китайских производителей

Lace Lithography использует атомы, чтобы выйти за рамки EUV

То, что Lace Lithography называет BEUV, теоретически может обеспечить более тонкие характеристики, поддерживая дальнейшую миниатюризацию транзисторов и расширяя действие закона Мура.

Компания была основана в июле 2023 года генеральным директором профессором Бодилом Хольстом (Bodil Holst) из Университета Бергена и техническим директором Адриа Сальвадором Палау (Adria Salvador Palau), который получил докторскую степень в Университете Бергена, но сейчас работает в Барселоне, Испания.

В обычных системах литографии в экстремальном ультрафиолете (EUV) для создания рисунков на пластинах используется свет с длиной волны 13.5 нм, проходящий через ряд зеркал и масок. Атомная литография позволяет осуществлять прямое безмасочное формирование рисунка с разрешением меньшим, чем это возможно при использовании ограниченных длиной волны систем EUV.

«Используя атомы вместо света, мы предоставляем производителям чипов возможности, на 15 лет опережающие нынешние технологии, более экономичные и со значительно меньшим энергопотреблением», – утверждает компания на своем сайте.

Сальвадор Палау и профессор Хольст были соавторами статьи, опубликованной в Physics Review A под названием «Точный перенос рисунка на поверхность с помощью нейтральных атомов гелия». В статье представлены детали реализации и работы гелиевого стерео микроскопа.

FabouLACE – это финансируемый Европейским союзом проект по разработке технологии безмасочной атомной литографии с бюджетом 2.5 млн евро, предоставленным Европейским советом по инновациям. Проект стартовал 1 декабря 2023 года и продлится до 30 ноября 2026 года.

В FabouLACE используются метастабильные атомы и маски на основе дисперсионных сил, позволяющие создавать элементы размером 2 нм. По данным Европейской комиссии, компания Lace Lithography намерена вывести технологию на рынок к 2031 году. В это время эффективность технологии будет отслеживаться и проверяться исследовательским институтом IMEC. Предыдущим европейским исследовательским проектом был NanoLACE, который завершился 31 декабря 2024 года. Этот проект стартовал в 2019 году и получил 3.36 млн евро в рамках бюджета в 3.65 млн евро.

В июле 2023 года компания Lace Lithography привлекла первоначальное финансирование в размере около 450,000 евро при поддержке Runa Capital, Vsquared Ventures, Future Ventures, Европейского совета по инновациям, Innovation Norway и Норвежского исследовательского совета.

На данный момент компания собрала команду из более чем 20 физиков, инженеров и операторов.

eeNews Europe

Перевод: AlexAAN по заказу РадиоЛоцман

На английском языке: Lace Lithography uses atoms to go beyond EUVL

ТМ Электроникс. Электронные компоненты и приборы. Скидки, кэшбэк и бесплатная доставка
Для комментирования материалов с сайта и получения полного доступа к нашему форуму Вам необходимо зарегистрироваться.
Имя
Фрагменты обсуждения:Полный вариант обсуждения »
  • в чём принципиальная новизна ? Уже много лет как пробуют( и даже пробные установки собирают ) на разных частицах. Результат так себе - или очень медленно или - всплывает много трудноустранимых нюансов