Цитата:

Для достижения высокой чувствительности датчика давления обычно используется большой кристалл со сложной структурой. Но такая структура приводит к тому, что на датчик заметное влияние оказывает гравитация и вибрация.

Подробнее: Высокая чувствительность датчика при простой структуре

Очень полезная новинка в плане наличия модификаций датчиков с компенсацией, начальной калибровкой и цифровым сопряжением.

Только вот не согласен, что заявленную технологию можно считать прорывом. Первопричиной наличия «большого кристалла со сложной структурой» в полупроводниковых тензодатчиках является необходимость компенсировать на этапе производства нелинейность температурных характеристик и упругих свойств тензорезисторов. Кроме того, в рабочем диапазоне деформаций и температур эти характеристики сильно плывут от образца к образцу ещё на этапе формирования p-n переходов. Отсюда и замысловатые узоры, сформированные в плоской структуре датчика.

У меня есть несколько отечественных корпусных тензодатчиков С50 со штоком и без (датчики перемещения и датчики давления). Насколько я знаю, их используют на АЭС и прочих ответственных объетках АСУ, возможно в военке. Вместо классических диффузионных тензорезисторов на полупроводнике там использована технология «кремний на сапфире» (могу ошибаться, возможно использован другой диэлектрик). Внутри – произведение искусства (кто понимает)! Характерные размеры «кристалла» пластины датчика где-то 5*5 мм при толщине такой подложки 0,05-0,1мм. «Внутри» полупрозрачной пластины – целый «город» из микрометровой плёнки кремния, выращенной на поверхности. Это, в общем-то, ювелирное изделие тонкой работы, можно долго рассматривать через лупу. Четыре вывода подпаяны к корпусу золотой проволокой. Запитываются током. Метрологические характеристик очень высоки. Во всяком случае, наиболее интересные для нас соотношение сигнал/шум на микрометровых перемещения штока в 10 раз лучше показателей, полученных на стенде с обыкновенными тензорезисторами и альтернативными датчиками на магниточувствительных микросхемах. К сожалению, под рукой нет камеры с высоким разрешением, чтобы сфотографировать сам монокристалл.

Внешне выглядят вот так http://icm-tec.com/index3_14.htm (вторая строка таблицы снизу). Аналогичные по начинке датчики «Сапфир» широко используются в теплоэнергетике. Но это разработки чуть ли не 30-летней давности, наверняка с бесконечными переспективами минюатиризации (не знаю состояния вопроса). Я убеждён, что всегда есть возможность найти OEM-компоненты с достаточно высоким классом точности для конкретной задачи. Ведь вопрос «революционности» технологии как таковой – это всегда вопрос стоимости. В этом смысле полезным было бы сравнение решений тех или иных производителей тензопреобразователей в рамках заданного класса точности. Но подобных "срезов" рынка не встречал.