Компания Seiko Epson разработала компактные модели двух угломеров и двух акселерометров (трехосные сенсорные модули), которые могут использоваться для различных технических решений. Эти продукты обеспечивают в течение длительного периода времени стабильный мониторинг с разрешением до 0.001 градуса (угломер) и 10 мкG (акселерометр). Epson начнет поставки первых образцов в январе 2013 года, и в 2013 году планирует начать массовое производство.
Подобные датчики используются в промышленном и гражданском строительстве для монитринга горизонтальных и вертикальных плоскостей высотных зданий и других крупных сооружений, а также для контроля происходящих со временем изменений при незначительной сейсмической активности, измерения деформаций и повреждений конструкций после землетрясений. Тем не менее, используемые до последнего времени для таких измерений и зондирования высокоточные угломеры и акселерометры были дорогими, большими и тяжелыми, что серьезно затрудняло их использование. Необходимы были компактные, энергоэффективные и недорогие системы мониторинга на основе полупроводниковых MEMS датчиков, обладающих долговременной точностью и стабильностью, как у датчиков на основе сервомеханизмов.
«Чтобы удовлетворить требованиям заказчиков мы использовали нашу уникальную технологию QMEMS*) при разработке новых кварцевых акселерометров, обладающих и высокой точностью, и стабильностью», – сказал Тосихико Кано (Toshihiko Kano), главный менеджер Epson M Project. – «Мы объединили в этих датчиках полупроводниковые и программные технологии для создания удобных в использовании высокопроизводительных угломеров и акселерометров. Мы будем поставлять такие угломеры и акселерометры, как встроенные модели, так и в виде CAN совместимых модулей в водонепроницаемом и пылезащищенном исполнении, которые могут быть использованы в различных сферах применения».
Такие датчики упрощают создание гибкой системы мониторинга профессионального уровня. Они также могут быть легко использованы для реализации разветвленных и синхронных систем измерения. С помощью цифрового интерфейса заказчики смогут создавать системы мониторинга с более высокими анти-шумовыми характеристиками, с возможностью удаленного измерения в гораздо более сжатые промежутки времени.
*) QMEMS представляет собой комбинацию кварца (Q) – материала, обладающего высокой точностью и превосходной стабильностью частоты, с MEMS (микроэлектромеханической системой). Устройства QMEMS выполнены на основе микротехнологического процесса на кварцевом материале, вместо используемых MEMS полупроводниковых материалов, что обеспечивает высокий уровень характеристик в компактном корпусе. QMEMS является зарегистрированной торговой маркой компании Seiko Epson.
